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Schichten für Ihre Produkte
Kontakt

Andreas Sackmann
Tel. +49 421 835566-0
info@em-bremen.de

Schichten für Ihre Produkte

Schichten für Ihre Produkte

In unseren Laboren scheiden wir für Sie eine Vielzahl unterschiedlicher Metalle, dielektrische Schichten, Oberflächenpassivierungen oder Funktionsschichten auf von Ihren beigestellten Halbzeugen ab.
Unsere Standardmaterialen sind:

  • Gold (Au)
  • Platin (Pt)
  • Kupfer (Cu)
  • Chrom (Cr)
  • Titan (Ti)
  • Aluminium (Al)
  • AlSiTi-Legierung
  • WTi-Legierung
  • Tantal
  • Titannitrid (TiN)
  • Siliziumnitrid (Si3N4) (stöchiometrisch und siliziumreich)
  • Siliziumdioxid (SiO2 - LTO, TEOS, Th.Ox.)
  • Polykristalines Silizium (Si)
  • Diamond like Carbon (DLC)
  • Aluminiumoxid (Al2O3)

Darüber hinaus ist die Abscheidung weiterer Materialen möglich. Unsere Wissenschaftler und Ingenieure entwickeln speziell auf Ihre Anwendungen ausgerichtete Depositionsprozesse. Die Abscheidungen erfolgen größtenteils unter Reinraumbedingungen und nach den Richtlinien der DIN EN ISO 9001:2008.