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Strukturierung
Kontakt

Andreas Sackmann
Tel. +49 421 835566-0
info@em-bremen.de

Strukturierung

Strukturierung

Sollten Sie eine Strukturierung der Dünnschichten benötigen, so steht unser Team im Reinraum (Klasse 10 bis 100) bereit. Die Ausrüstung der Photolithographie umfasst Belacker, Belichter und Entwickler sowohl für die Entwicklung von Kundenspezifischen Prozessen, als auch für die Produktion Auf Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser werden Auflösungen bis zu 1µm erreicht. Die anschließende Ätzung der Schichten kann nasschemisch oder durch Plasmaätzverfahren erfolgen.
Unsere Standardprozesse:



Zur Qualitätssicherung nach DIN EN ISO 9001:2008 und Charakterisierung der Strukturen verfügen wir über:

  • Optische Mikroskope Leiz, Nikon, Olympus
  • Digital Mikroskop Keyence
  • 3D Laser Scan Mikroskop Keyence
  • Rasterelektronenmikroskop Hitachi
  • 3D Messsystem Nikon Nexiv
  • Tastschrittgeräte Tencor