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Mikromechanik
Mikromechanik

Mikromechanik

Mikromechanische Komponenten sind aus unserem Alltag nicht mehr wegzudenken, auch wenn ihr Wirken uns meist verborgen bleibt. So sind es zum Beispiel Düsen aus Silizium, die Asthmamedikamente feiner zerstäuben als herkömmliche Düsen oder in Druckköpfen von Tintenstrahldruckern eine hohe Auflösung garantieren. In Fahrzeugen entscheiden mikromechanische Beschleunigungssensoren über das Auslösen der Airbags. Eine Vielzahl von Druck-, Strömungs- und Feuchtesensoren werden in der Medizin-, Fahrzeug- Umwelt- und Hausgerätetechnik eingesetzt.

Bei der Mikromechanik geht es also um die Herstellung von mechanischen Bauteilen in Größen des unteren Mikrometerbereichs. Typischerweise wird als Werkstoff monokristallines Silizium verwendet, ergänzt durch Metalle, Polymere, Gläser und Keramiken.

Die Verfahren der Mikromechanik stammen ursprünglich aus der Mikroelektronikfertigung und greifen auf eine 60-jährige Erfahrung in der ultragenauen Bearbeitung von Silizium zurück. Analog zur Chipherstellung wird eine hohe Stückzahl von Bauteilen parallel auf einer Siliziumscheibe (Wafer) kosteneffektiv gefertigt.

Das kann Mikromechanik für sie tun:

  • Strömende Medien mit Pumpen fördern und mit Ventilen, Reaktionskammern oder Drosselstrecken schalten, steuern und verteilen
  • Kräfte übertragen oder mechanische Energie speichern (Getriebe, Federn, seismische Massen, Biegebalken, mechanische Führungen)
  • Chemische und physikalische Größen wie zum Beispiel Temperatur, Druck, Beschleunigung, Neigung oder Strömung mit Mikrosensoren messen
  • Elektromagnetische Felder mit Mikrospulen und -antennen erzeugen und analysieren
  • Optisch detektieren oder darstellen (optische Schalter, Linsen, Infrarot-Sensoren und -Quellen)
  • Oberflächen veredeln (Oberflächenpassivierung, Verschleißschutz)

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