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Charakterisierung von Mikrostrukturen
Kontakt

Andreas Sackmann
Tel. +49 421 835566-0
info@em-bremen.de

Charakterisierung von Mikrostrukturen

Charakterisierung von Mikrostrukturen

Charakterisierung von Mikrostrukturen

Die Entwicklung und Fertigung MEMS Strukturen ist mit einer Vielzahl komplexer Meßaufgaben und ständigen Qualitätskontrollen verbunden.
Die notwendige Messtechnik ist leider oft teuer und wenig flexibel. Die Alternative zu Investitionen in Analyse- und Messtechnik ist unsere Mess- und Charakterisierungsdienstleitung.
Egal, ob die es um die Inspektion eines fertigen Systems oder die Kontrolle einzelner Prozessschritte geht: Greifen Sie auf unsere Technologie und die Erfahrung unseres qualifizierten Teams zurück.

Unsere Leistungen

  • Optische 3D-Vermessung von Mikrostrukturen
  • Automatisierte Kontrolle von Maßhaltigkeiten (Linienbreiten, Strukturgrößen, Position)
  • Automatisierte Charakterisierung von Oberflächentopographien
  • Messung von Oberflächentemperaturen und Erstellung von Thermographieaufnahmen
  • Kontaktwinkelmessungen
  • Erstellung von Raster-Elektronenmikroskopaufnahmen (REM)
  • Analyse von Schichtzusammensetzungen (EDX, XRF)
  • Charakterisierung von Schichtgefügen (TEM)
  • Bestimmung der Justagegenauigkeit Vorder /- zu Rückseite
  • Bestimmung von Schichtdicken
  • Vermessung der Wafergeometrie und - durchbiegung
  • Bestimmung von Schichtstress
  • Probenpräparation / -Reinigung (nass- und trockenchemisch)